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1200℃三温区三通道混气CVD系统
型号:
OTF-1200X-80-III-F3LV
产品概述:
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,它是由管式炉,三路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到 10-2 torr。
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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
壳体结构

· 双层壳体结构并带有风冷,使得壳体的表面温度小于60

· 保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,可以减少热量的损失,环保节能

· 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

可开启式,更换炉管方便


功率

5 KW


电压

AC 208-240V单相, 50/60 Hz


加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo


最高工作温度

1200℃


连续工作温度

1100℃


最大加热速率

 ≤20  ℃/min



石英管& 密封法兰

· 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内

· 仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰,压力表和阀门(点击下面的图片查看详细的信息)

· blob.png


加热区长度

· 三个温区长度: (880mm, 35" in total)

· 温区 1: 220mm  (8.6" )  

· 温区 2: 440mm  (17.3")

温区 3: 220 mm (8.6") 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 


温控系统


· 三个精密温度控制器,可独立控温

· PID控制方式,通过PWM固体继电器。

· 30段可编程智能温度调节仪,并可设置30段升降温程序。

· 带有过热和断偶保护功能


控温精度

+/- 1℃


真空密封系统

· 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀).

· 通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵,真空度可以达到10-4 torr。

· 漏气率 < 5 m-torr / min

· 


真空泵

采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米
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数字式真空显示计

可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
     blob.png


气体流量计和压力表

· 三个浮子流量计,能够检测到气体的流          

· 三路浮子量程分别为

· 10-100 cc/min。

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

· 内部安装有一混气罐

有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上,可以检测气体压力及混合槽的压力


阀门

四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上,用于控制气体的流量


外形尺寸

· 炉子: 1100 X 450 x 670mm

底部移动架: 600x600x597mm


开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
      blob.png  


净重

 90 Kg


运输重量

  245 lbs


质保期

一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件


质量认证

blob.png CE certified


使用注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

· 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· 石英管的长时间使用温度<1100℃

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


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